आणविक बीम एपिटॉक्सी को एक उच्च वैक्यूम या अल्ट्रा-हाई वैक्यूम (1 x 10^-8पा) पर्यावरण।आणविक बीम एपिटॉक्सी का सबसे महत्वपूर्ण पहलू इसकी कम जमाव दर है, जो आमतौर पर फिल्म को 3000 एनएम प्रति घंटे से कम की दर से एपिटैक्सियल बढ़ने की अनुमति देता है।इस तरह की कम निक्षेपण दर के लिए अन्य निक्षेपण विधियों के समान स्वच्छता के समान स्तर को प्राप्त करने के लिए पर्याप्त उच्च निर्वात की आवश्यकता होती है।

ऊपर वर्णित अल्ट्रा-हाई वैक्यूम को पूरा करने के लिए, एमबीई डिवाइस (नुडसन सेल) में शीतलन परत होती है, और विकास कक्ष के अल्ट्रा-हाई वैक्यूम वातावरण को तरल नाइट्रोजन परिसंचरण प्रणाली का उपयोग करके बनाए रखा जाना चाहिए।लिक्विड नाइट्रोजन डिवाइस के आंतरिक तापमान को 77 केल्विन (-196 डिग्री सेल्सियस) तक ठंडा करता है।कम तापमान का वातावरण निर्वात में अशुद्धियों की मात्रा को और कम कर सकता है और पतली फिल्मों के जमाव के लिए बेहतर स्थिति प्रदान कर सकता है।इसलिए, एमबीई उपकरण के लिए -196 डिग्री सेल्सियस तरल नाइट्रोजन की निरंतर और स्थिर आपूर्ति प्रदान करने के लिए एक समर्पित तरल नाइट्रोजन शीतलन परिसंचरण प्रणाली की आवश्यकता होती है।