आणविक बीम एपिटैक्सी एक उच्च वैक्यूम या अल्ट्रा-हाई वैक्यूम (1 x 10) में किया गया था^-8पा) पर्यावरण। आणविक बीम एपिटैक्सी का सबसे महत्वपूर्ण पहलू इसकी कम बयान दर है, जो आमतौर पर फिल्म को 3000 एनएम प्रति घंटे से कम की दर से बढ़ने की अनुमति देता है। इस तरह की कम बयान दर को अन्य बयान विधियों के समान स्वच्छता के समान स्तर को प्राप्त करने के लिए एक उच्च पर्याप्त वैक्यूम की आवश्यकता होती है।

ऊपर वर्णित अल्ट्रा-हाई वैक्यूम को पूरा करने के लिए, एमबीई डिवाइस en नूडसेन सेल） में एक शीतलन परत है, और विकास कक्ष के अल्ट्रा-हाई वैक्यूम वातावरण को एक तरल नाइट्रोजन परिसंचरण प्रणाली का उपयोग करके बनाए रखा जाना चाहिए। लिक्विड नाइट्रोजन डिवाइस के आंतरिक तापमान को 77 केल्विन (.196 ° C) तक ठंडा करता है। कम तापमान का वातावरण वैक्यूम में अशुद्धियों की सामग्री को और कम कर सकता है और पतली फिल्मों के जमाव के लिए बेहतर स्थिति प्रदान कर सकता है। इसलिए, एमबीई उपकरण के लिए एक समर्पित तरल नाइट्रोजन शीतलन परिसंचरण प्रणाली की आवश्यकता होती है जो -196 ° C तरल नाइट्रोजन की निरंतर और स्थिर आपूर्ति प्रदान करती है।