सेमीकंडक्टर और चिप मामले और समाधान

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तरल नाइट्रोजन शीतलन प्रणाली का व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर और चिप उद्योग में उपयोग किया जाता है, जिसमें प्रक्रिया भी शामिल है,

  • मॉलिक्यूलर बीम एपिटैक्सी (एमबीई) की तकनीक
  • COB पैकेज के बाद चिप का परीक्षण

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आणविक किरण एपिटैक्सी

वैक्यूम वाष्पीकरण तकनीक का उपयोग करके अर्धचालक पतली फिल्म सामग्री तैयार करने के लिए आणविक बीम एपिटैक्सी (एमबीई) की तकनीक 1950 के दशक में विकसित की गई थी।अल्ट्रा-हाई वैक्यूम प्रौद्योगिकी के विकास के साथ, प्रौद्योगिकी के अनुप्रयोग को अर्धचालक विज्ञान के क्षेत्र तक बढ़ा दिया गया है।

एचएल ने एमबीई तरल नाइट्रोजन शीतलन प्रणाली, एमबीई प्रौद्योगिकी के लिए एक विशेष एमबीई तरल नाइट्रोजन कूइंग सिस्टम और वैक्यूम इंसुलेटेड पाइपिंग सिस्टम का एक पूरा सेट सफलतापूर्वक विकसित करने के लिए संगठित तकनीकी रीढ़ की मांग पर ध्यान दिया है, जिसका उपयोग कई उद्यमों, विश्वविद्यालयों और अनुसंधान संस्थानों में किया गया है। .

सेमीकंडक्टर और चिप उद्योग की आम समस्याओं में शामिल हैं,

  • टर्मिनल (एमबीई) उपकरण में तरल नाइट्रोजन का दबाव।क्षतिग्रस्त टर्मिनल (एमबीई) उपकरण से दबाव अधिभार को रोकें।
  • एकाधिक क्रायोजेनिक तरल इनलेट और आउटलेट नियंत्रण
  • टर्मिनल उपकरण में तरल नाइट्रोजन का तापमान
  • क्रायोजेनिक गैस उत्सर्जन की उचित मात्रा
  • (स्वचालित) मुख्य और शाखा लाइनों का स्विचिंग
  • दबाव समायोजन (कम करना) और वीआईपी की स्थिरता
  • टैंक से संभावित अशुद्धियों और बर्फ के अवशेषों को साफ करना
  • टर्मिनल तरल उपकरण भरने का समय
  • पाइपलाइन प्रीकूलिंग
  • वीआईपी सिस्टम में तरल प्रतिरोध
  • सिस्टम की निरंतर सेवा के दौरान तरल नाइट्रोजन के नुकसान को नियंत्रित करें

एचएल का वैक्यूम इंसुलेटेड पाइप (वीआईपी) मानक के रूप में एएसएमई बी31.3 प्रेशर पाइपिंग कोड के अनुसार बनाया गया है।ग्राहक के संयंत्र की दक्षता और लागत-प्रभावशीलता सुनिश्चित करने के लिए इंजीनियरिंग अनुभव और गुणवत्ता नियंत्रण क्षमता।

समाधान

एचएल क्रायोजेनिक उपकरण ग्राहकों को सेमीकंडक्टर और चिप उद्योग की आवश्यकताओं और शर्तों को पूरा करने के लिए वैक्यूम इंसुलेटेड पाइपिंग सिस्टम प्रदान करता है:

1. गुणवत्ता प्रबंधन प्रणाली: ASME B31.3 दबाव पाइपिंग कोड।

2. स्वचालित नियंत्रण फ़ंक्शन के साथ एकाधिक क्रायोजेनिक तरल इनलेट और आउटलेट वाला एक विशेष चरण विभाजक गैस उत्सर्जन, पुनर्नवीनीकरण तरल नाइट्रोजन और तरल नाइट्रोजन के तापमान की आवश्यकता को पूरा करता है।

3. पर्याप्त और समय पर निकास डिज़ाइन यह सुनिश्चित करता है कि टर्मिनल उपकरण हमेशा डिज़ाइन किए गए दबाव मान के भीतर काम करता है।

4. गैस-तरल बैरियर को VI पाइपलाइन के अंत में ऊर्ध्वाधर VI पाइप में रखा गया है।गैस-तरल बैरियर VI पाइपलाइन के अंत से VI पाइपिंग में गर्मी को अवरुद्ध करने के लिए गैस सील सिद्धांत का उपयोग करता है, और सिस्टम की असंतत और रुक-रुक कर सेवा के दौरान तरल नाइट्रोजन के नुकसान को प्रभावी ढंग से कम करता है।

5. वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व (VIV) श्रृंखला द्वारा नियंत्रित VI पाइपिंग: जिसमें वैक्यूम इंसुलेटेड (वायवीय) शट-ऑफ वाल्व, वैक्यूम इंसुलेटेड चेक वाल्व, वैक्यूम इंसुलेटेड रेगुलेटिंग वाल्व आदि शामिल हैं। वीआईपी को नियंत्रित करने के लिए विभिन्न प्रकार के VIV को मॉड्यूलर रूप से जोड़ा जा सकता है। आवश्यक।वीआईवी को ऑन-साइट इंसुलेटेड ट्रीटमेंट के बिना, निर्माता में वीआईपी प्रीफैब्रिकेशन के साथ एकीकृत किया गया है।VIV की सील यूनिट को आसानी से बदला जा सकता है।(एचएल ग्राहकों द्वारा निर्दिष्ट क्रायोजेनिक वाल्व ब्रांड को स्वीकार करता है, और फिर एचएल द्वारा वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व बनाता है। वाल्व के कुछ ब्रांड और मॉडल वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व में बनाने में सक्षम नहीं हो सकते हैं।)

6.स्वच्छता, यदि आंतरिक ट्यूब सतह की सफाई के लिए अतिरिक्त आवश्यकताएं हैं।यह सुझाव दिया जाता है कि ग्राहक स्टेनलेस स्टील के रिसाव को और कम करने के लिए बीए या ईपी स्टेनलेस स्टील पाइप को वीआईपी इनर पाइप के रूप में चुनें।

7.वैक्यूम इंसुलेटेड फिल्टर: टैंक से संभावित अशुद्धियों और बर्फ के अवशेषों को साफ करें।

8. कुछ दिनों या लंबे समय तक शटडाउन या रखरखाव के बाद, क्रायोजेनिक तरल में प्रवेश करने से पहले VI पाइपिंग और टर्मिनल उपकरण को प्रीकूल करना बहुत आवश्यक है, ताकि क्रायोजेनिक तरल सीधे VI पाइपिंग और टर्मिनल उपकरण में प्रवेश करने के बाद बर्फ के स्लैग से बचा जा सके।डिज़ाइन में प्रीकूलिंग फ़ंक्शन पर विचार किया जाना चाहिए।यह टर्मिनल उपकरण और वाल्व जैसे VI पाइपिंग समर्थन उपकरण के लिए बेहतर सुरक्षा प्रदान करता है।

9. डायनामिक और स्टेटिक वैक्यूम इंसुलेटेड (लचीला) पाइपिंग सिस्टम दोनों के लिए उपयुक्त।

10.डायनेमिक वैक्यूम इंसुलेटेड (लचीला) पाइपिंग सिस्टम: VI फ्लेक्सिबल होसेस और/या VI पाइप, जम्पर होसेस, वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व सिस्टम, फेज़ सेपरेटर और डायनेमिक वैक्यूम पंप सिस्टम (वैक्यूम पंप, सोलनॉइड वाल्व और वैक्यूम गेज आदि सहित) से मिलकर बनता है। ).एकल VI लचीली नली की लंबाई को उपयोगकर्ता की आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है।

11.विभिन्न कनेक्शन प्रकार: वैक्यूम बेयोनेट कनेक्शन (वीबीसी) प्रकार और वेल्डेड कनेक्शन का चयन किया जा सकता है।वीबीसी प्रकार को ऑन-साइट इंसुलेटेड उपचार की आवश्यकता नहीं है।