सेमीकंडक्टर और चिप मामले और समाधान

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तरल नाइट्रोजन शीतलन प्रणाली का व्यापक रूप से अर्धचालक और चिप उद्योग में उपयोग किया जाता है, जिसमें प्रक्रिया भी शामिल है,

  • आणविक बीम एपिटैक्सी (एमबीई) की तकनीक
  • COB पैकेज के बाद चिप का परीक्षण

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आण्विक बीम एपिटैक्सी

आणविक बीम एपिटैक्सी (एमबीई) की तकनीक 1950 के दशक में वैक्यूम वाष्पीकरण तकनीक का उपयोग करके सेमीकंडक्टर पतली फिल्म सामग्री तैयार करने के लिए विकसित की गई थी।अल्ट्रा-हाई वैक्यूम प्रौद्योगिकी के विकास के साथ, प्रौद्योगिकी के अनुप्रयोग को अर्धचालक विज्ञान के क्षेत्र में विस्तारित किया गया है।

एचएल ने एमबीई तरल नाइट्रोजन शीतलन प्रणाली की मांग पर ध्यान दिया है, एमबीई प्रौद्योगिकी के लिए एक विशेष एमबीई तरल नाइट्रोजन कूइंग सिस्टम और वैक्यूम इन्सुलेटेड पाइपिंग सिस्टम का एक पूरा सेट सफलतापूर्वक विकसित करने के लिए तकनीकी रीढ़ की हड्डी का आयोजन किया है, जिसका उपयोग कई उद्यमों, विश्वविद्यालयों और अनुसंधान संस्थानों में किया गया है। .

सेमीकंडक्टर और चिप उद्योग की आम समस्याओं में शामिल हैं,

  • टर्मिनल (एमबीई) उपकरण में तरल नाइट्रोजन का दबाव।टर्मिनल (एमबीई) उपकरण को नुकसान पहुंचाने वाले प्रेशर ओवरलोड को रोकें।
  • एकाधिक क्रायोजेनिक तरल इनलेट और आउटलेट नियंत्रण
  • टर्मिनल उपकरण में तरल नाइट्रोजन का तापमान
  • क्रायोजेनिक गैस उत्सर्जन की एक उचित मात्रा
  • (स्वचालित) मुख्य और शाखा लाइनों का स्विचिंग
  • दबाव समायोजन (कम करना) और वीआईपी की स्थिरता
  • टैंक से संभावित अशुद्धियों और बर्फ के अवशेषों की सफाई
  • टर्मिनल तरल उपकरण भरने का समय
  • पाइपलाइन प्रीकूलिंग
  • वीआईपी सिस्टम में तरल प्रतिरोध
  • सिस्टम की असंतत सेवा के दौरान तरल नाइट्रोजन का नियंत्रण नुकसान

एचएल का वैक्यूम इंसुलेटेड पाइप (वीआईपी) मानक के रूप में एएसएमई बी31.3 प्रेशर पाइपिंग कोड के लिए बनाया गया है।ग्राहक के संयंत्र की दक्षता और लागत-प्रभावशीलता सुनिश्चित करने के लिए इंजीनियरिंग अनुभव और गुणवत्ता नियंत्रण क्षमता।

समाधान

HL क्रायोजेनिक उपकरण ग्राहकों को सेमीकंडक्टर और चिप उद्योग की आवश्यकताओं और शर्तों को पूरा करने के लिए वैक्यूम इंसुलेटेड पाइपिंग सिस्टम प्रदान करता है:

1. गुणवत्ता प्रबंधन प्रणाली: ASME B31.3 प्रेशर पाइपिंग कोड।

2. स्वचालित नियंत्रण समारोह के साथ एकाधिक क्रायोजेनिक तरल इनलेट और आउटलेट के साथ एक विशेष चरण विभाजक गैस उत्सर्जन, पुनर्नवीनीकरण तरल नाइट्रोजन और तरल नाइट्रोजन के तापमान की आवश्यकता को पूरा करता है।

3. पर्याप्त और समय पर निकास डिजाइन सुनिश्चित करता है कि टर्मिनल उपकरण हमेशा डिज़ाइन किए गए दबाव मूल्य के भीतर काम करता है।

4. गैस-लिक्विड बैरियर को VI पाइपलाइन के अंत में वर्टिकल VI पाइप में रखा गया है।गैस-लिक्विड बैरियर VI पाइपलाइन के अंत से VI पाइपिंग में गर्मी को अवरुद्ध करने के लिए गैस सील सिद्धांत का उपयोग करता है, और सिस्टम की असंतत और आंतरायिक सेवा के दौरान तरल नाइट्रोजन के नुकसान को प्रभावी ढंग से कम करता है।

5.VI पाइपिंग को वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व (VIV) सीरीज द्वारा नियंत्रित किया जाता है: जिसमें वैक्यूम इंसुलेटेड (वायवीय) शट-ऑफ वाल्व, वैक्यूम इंसुलेटेड चेक वाल्व, वैक्यूम इंसुलेटेड रेगुलेटिंग वाल्व आदि शामिल हैं। वीआईपी को नियंत्रित करने के लिए विभिन्न प्रकार के VIV को मॉड्यूलर संयुक्त किया जा सकता है। आवश्यक।साइट पर अछूता उपचार के बिना, VIV निर्माता में VIP प्रीफैब्रिकेशन के साथ एकीकृत है।VIV की सील यूनिट को आसानी से बदला जा सकता है।(एचएल ग्राहकों द्वारा नामित क्रायोजेनिक वाल्व ब्रांड को स्वीकार करता है, और फिर एचएल द्वारा वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व बनाता है। कुछ ब्रांड और वाल्व के मॉडल वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व बनाने में सक्षम नहीं हो सकते हैं।)

6. सफाई, अगर आंतरिक ट्यूब सतह की सफाई के लिए अतिरिक्त आवश्यकताएं हैं।यह सुझाव दिया जाता है कि ग्राहक बीए या ईपी स्टेनलेस स्टील पाइप को वीआईपी इनर पाइप के रूप में चुनें ताकि स्टेनलेस स्टील स्पिलेज को और कम किया जा सके।

7. वैक्यूम इंसुलेटेड फिल्टर: टैंक से संभावित अशुद्धियों और बर्फ के अवशेषों को साफ करें।

8. कुछ दिनों या लंबे समय तक बंद या रखरखाव के बाद, क्रायोजेनिक तरल में प्रवेश करने से पहले VI पाइपिंग और टर्मिनल उपकरण को प्रीकूल करना बहुत आवश्यक है, ताकि क्रायोजेनिक तरल सीधे VI पाइपिंग और टर्मिनल उपकरण में प्रवेश करने के बाद बर्फ के टुकड़े से बचा जा सके।डिजाइन में प्रीकूलिंग फ़ंक्शन पर विचार किया जाना चाहिए।यह टर्मिनल उपकरण और VI पाइपिंग सपोर्ट उपकरण जैसे वाल्व के लिए बेहतर सुरक्षा प्रदान करता है।

9. डायनेमिक और स्टेटिक वैक्यूम इंसुलेटेड (फ्लेक्सिबल) पाइपिंग सिस्टम दोनों के लिए सूट।

10. डायनेमिक वैक्यूम इंसुलेटेड (लचीला) पाइपिंग सिस्टम: VI फ्लेक्सिबल होसेस और / या VI पाइप, जम्पर होसेस, वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व सिस्टम, फेज सेपरेटर्स और डायनेमिक वैक्यूम पंप सिस्टम (वैक्यूम पंप, सोलनॉइड वाल्व और वैक्यूम गेज आदि सहित) से मिलकर बनता है। )एकल VI लचीली नली की लंबाई को उपयोगकर्ता की आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है।

11.विभिन्न कनेक्शन प्रकार: वैक्यूम संगीन कनेक्शन (वीबीसी) प्रकार और वेल्डेड कनेक्शन का चयन किया जा सकता है।VBC प्रकार के लिए ऑन-साइट इंसुलेटेड उपचार की आवश्यकता नहीं होती है।