सेमीकंडक्टर और चिप मामले और समाधान

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तरल नाइट्रोजन शीतलन प्रणाली का व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर और चिप उद्योग में उपयोग किया जाता है, जिसमें प्रक्रिया भी शामिल है,

  • आणविक बीम एपिटॉक्सी (एमबीई) की तकनीक
  • COB पैकेज के बाद चिप का परीक्षण

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आणविक बीम एपिटेक्सी

वैक्यूम वाष्पीकरण तकनीक का उपयोग करके सेमीकंडक्टर पतली फिल्म सामग्री तैयार करने के लिए 1950 के दशक में आणविक बीम एपिटॉक्सी (एमबीई) की तकनीक विकसित की गई थी।अति-उच्च निर्वात प्रौद्योगिकी के विकास के साथ, प्रौद्योगिकी के अनुप्रयोग को अर्धचालक विज्ञान के क्षेत्र में विस्तारित किया गया है।

HL ने MBE लिक्विड नाइट्रोजन कूलिंग सिस्टम की मांग पर ध्यान दिया है, MBE तकनीक के लिए एक विशेष MBE लिक्विड नाइट्रोजन कोइंग सिस्टम को सफलतापूर्वक विकसित करने के लिए संगठित तकनीकी रीढ़ और वैक्यूम इंसुलेटेड पाइपिंग सिस्टम का एक पूरा सेट, जिसका उपयोग कई उद्यमों, विश्वविद्यालयों और अनुसंधान संस्थानों में किया गया है। .

सेमीकंडक्टर और चिप उद्योग की सामान्य समस्याओं में शामिल हैं,

  • टर्मिनल (एमबीई) उपकरण में तरल नाइट्रोजन का दबाव।डैमेजिंग टर्मिनल (MBE) उपकरण से प्रेशर ओवरलोड को रोकें।
  • मल्टीपल क्रायोजेनिक लिक्विड इनलेट और आउटलेट कंट्रोल
  • टर्मिनल उपकरण में तरल नाइट्रोजन का तापमान
  • क्रायोजेनिक गैस उत्सर्जन की उचित मात्रा
  • (स्वचालित) मुख्य और शाखा लाइनों का स्विचिंग
  • दबाव समायोजन (कम करना) और वीआईपी की स्थिरता
  • टैंक से संभावित अशुद्धियों और बर्फ के अवशेषों को साफ करना
  • टर्मिनल तरल उपकरण का भरने का समय
  • पाइपलाइन प्रीकूलिंग
  • VIP सिस्टम में तरल प्रतिरोध
  • सिस्टम की निरंतर सेवा के दौरान तरल नाइट्रोजन का नियंत्रण नुकसान

HL का वैक्यूम इंसुलेटेड पाइप (VIP) मानक के रूप में ASME B31.3 प्रेशर पाइपिंग कोड के लिए बनाया गया है।ग्राहक के संयंत्र की दक्षता और लागत-प्रभावशीलता सुनिश्चित करने के लिए इंजीनियरिंग अनुभव और गुणवत्ता नियंत्रण क्षमता।

समाधान

एचएल क्रायोजेनिक उपकरण सेमीकंडक्टर और चिप उद्योग की आवश्यकताओं और शर्तों को पूरा करने के लिए ग्राहकों को वैक्यूम इंसुलेटेड पाइपिंग सिस्टम प्रदान करता है:

1. गुणवत्ता प्रबंधन प्रणाली: ASME B31.3 प्रेशर पाइपिंग कोड।

2. स्वचालित नियंत्रण समारोह के साथ एकाधिक क्रायोजेनिक तरल इनलेट और आउटलेट के साथ एक विशेष चरण विभाजक गैस उत्सर्जन, पुनर्नवीनीकरण तरल नाइट्रोजन और तरल नाइट्रोजन के तापमान की आवश्यकता को पूरा करता है।

3. पर्याप्त और समय पर निकास डिजाइन सुनिश्चित करता है कि टर्मिनल उपकरण हमेशा डिज़ाइन किए गए दबाव मान के भीतर काम करता है।

4. गैस-लिक्विड बैरियर को VI पाइपलाइन के अंत में वर्टिकल VI पाइप में रखा गया है।गैस-लिक्विड बैरियर VI पाइपलाइन के अंत से VI पाइपिंग में गर्मी को ब्लॉक करने के लिए गैस सील सिद्धांत का उपयोग करता है, और सिस्टम की बंद और आंतरायिक सेवा के दौरान प्रभावी रूप से तरल नाइट्रोजन के नुकसान को कम करता है।

5.VI पाइपिंग को वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व (VIV) श्रृंखला द्वारा नियंत्रित किया जाता है: जिसमें वैक्यूम इंसुलेटेड (वायवीय) शट-ऑफ वाल्व, वैक्यूम इंसुलेटेड चेक वाल्व, वैक्यूम इंसुलेटेड रेगुलेटिंग वाल्व आदि शामिल हैं। VIP को नियंत्रित करने के लिए विभिन्न प्रकार के VIV मॉड्यूलर संयुक्त हो सकते हैं आवश्यक।साइट पर इंसुलेटेड उपचार के बिना, VIV को निर्माता में VIP प्रीफैब्रिकेशन के साथ एकीकृत किया गया है।VIV की सील यूनिट को आसानी से बदला जा सकता है।(एचएल ग्राहकों द्वारा निर्दिष्ट क्रायोजेनिक वाल्व ब्रांड को स्वीकार करता है, और फिर एचएल द्वारा वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व बनाता है। वाल्व के कुछ ब्रांड और मॉडल वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व में नहीं बन सकते हैं।)

6. सफाई, अगर आंतरिक ट्यूब सतह की सफाई के लिए अतिरिक्त आवश्यकताएं हैं।यह सुझाव दिया जाता है कि ग्राहक स्टेनलेस स्टील रिसाव को और कम करने के लिए बीए या ईपी स्टेनलेस स्टील पाइप को वीआईपी इनर पाइप के रूप में चुनें।

7. वैक्यूम इंसुलेटेड फिल्टर: टैंक से संभावित अशुद्धियों और बर्फ के अवशेषों को साफ करें।

8. कुछ दिनों या लंबे समय तक शटडाउन या रखरखाव के बाद, क्रायोजेनिक तरल में प्रवेश करने से पहले VI पाइपिंग और टर्मिनल उपकरण को प्रीकूल करना बहुत आवश्यक है, ताकि क्रायोजेनिक तरल सीधे VI पाइपिंग और टर्मिनल उपकरण में प्रवेश करने के बाद बर्फ के स्लैग से बचा जा सके।डिजाइन में प्रीकूलिंग फ़ंक्शन पर विचार किया जाना चाहिए।यह टर्मिनल उपकरण और वाल्व जैसे VI पाइपिंग समर्थन उपकरण के लिए बेहतर सुरक्षा प्रदान करता है।

9. डायनेमिक और स्टेटिक वैक्यूम इंसुलेटेड (फ्लेक्सिबल) पाइपिंग सिस्टम दोनों के लिए सूट।

10. डायनेमिक वैक्यूम इंसुलेटेड (फ्लेक्सिबल) पाइपिंग सिस्टम: VI फ्लेक्सिबल होसेस और/या VI पाइप, जम्पर होसेस, वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व सिस्टम, फेज सेपरेटर और डायनेमिक वैक्यूम पंप सिस्टम (वैक्यूम पंप, सोलनॉइड वाल्व और वैक्यूम गेज आदि सहित) से मिलकर बनता है। ).एकल VI लचीली नली की लंबाई को उपयोगकर्ता की आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है।

11. विभिन्न कनेक्शन प्रकार: वैक्यूम संगीन कनेक्शन (VBC) प्रकार और वेल्डेड कनेक्शन का चयन किया जा सकता है।VBC प्रकार को ऑन-साइट इंसुलेटेड उपचार की आवश्यकता नहीं होती है।