चिप एमबीई परियोजना पिछले वर्षों में पूरी हुई

तकनीकी

मॉलिक्यूलर बीम एपिटैक्सी (MBE) क्रिस्टल सब्सट्रेट पर उच्च गुणवत्ता वाली पतली क्रिस्टल फिल्मों को विकसित करने की एक नई तकनीक है। अति उच्च निर्वात स्थितियों में, सभी आवश्यक घटकों से सुसज्जित हीटिंग स्टोव द्वारा भाप उत्पन्न की जाती है। इस तकनीक में, परमाणु या आणविक बीम को संरेखित करने के बाद बने छिद्रों के माध्यम से, एकल क्रिस्टल सब्सट्रेट के उपयुक्त तापमान पर सीधे इंजेक्ट किया जाता है। सब्सट्रेट पर आणविक बीम को नियंत्रित रूप से स्कैन करते हुए, यह तकनीक क्रिस्टल की परतों में अणुओं या परमाणुओं को संरेखित करके सब्सट्रेट पर एक पतली फिल्म विकसित करती है।

MBE उपकरण के सामान्य संचालन के लिए, उपकरण के शीतलन कक्ष में उच्च शुद्धता, कम दबाव और अति-स्वच्छ तरल नाइट्रोजन का निरंतर और स्थिर परिवहन आवश्यक है। सामान्यतः, तरल नाइट्रोजन आपूर्ति करने वाले टैंक का आउटपुट दबाव 0.3MPa और 0.8MPa के बीच होता है। -196℃ पर तरल नाइट्रोजन पाइपलाइन परिवहन के दौरान आसानी से नाइट्रोजन में वाष्पीकृत हो जाती है। लगभग 1:700 के गैस-तरल अनुपात वाली तरल नाइट्रोजन के पाइपलाइन में गैसीकृत होने पर, यह तरल नाइट्रोजन प्रवाह स्थान का एक बड़ा हिस्सा घेर लेती है और पाइपलाइन के अंत में सामान्य प्रवाह को कम कर देती है। इसके अलावा, तरल नाइट्रोजन भंडारण टैंक में बिना साफ किए हुए मलबे के जमा होने की संभावना रहती है। तरल नाइट्रोजन पाइपलाइन में नम हवा की उपस्थिति से बर्फ के टुकड़े भी उत्पन्न हो सकते हैं। यदि ये अशुद्धियाँ उपकरण में प्रवेश करती हैं, तो इससे उपकरण को अप्रत्याशित क्षति हो सकती है।

इसलिए, बाहरी भंडारण टैंक में मौजूद तरल नाइट्रोजन को धूल रहित कार्यशाला में स्थित एमबीई उपकरण तक उच्च दक्षता, स्थिरता और स्वच्छता के साथ पहुंचाया जाता है, और कम दबाव, नाइट्रोजन रहित, अशुद्धियों रहित, 24 घंटे निर्बाध परिवहन सुनिश्चित किया जाता है। ऐसी परिवहन नियंत्रण प्रणाली एक योग्य उत्पाद है।

टीसीएम (4)
टीसीएम (1)
टीसीएम (3)

एमबीई उपकरण का मिलान

2005 से, एचएल क्रायोजेनिक इक्विपमेंट (एचएल क्रायो) इस प्रणाली को अनुकूलित और बेहतर बनाने के साथ-साथ अंतरराष्ट्रीय एमबीई उपकरण निर्माताओं के साथ सहयोग कर रहा है। डीसीए और आरईबर सहित एमबीई उपकरण निर्माताओं के हमारी कंपनी के साथ सहयोगात्मक संबंध हैं। डीसीए और आरईबर सहित एमबीई उपकरण निर्माताओं ने कई परियोजनाओं में सहयोग किया है।

रिबर एसए, यौगिक अर्धचालक अनुसंधान और औद्योगिक अनुप्रयोगों के लिए आणविक बीम एपिटैक्सी (एमबीई) उत्पादों और संबंधित सेवाओं का एक अग्रणी वैश्विक प्रदाता है। रिबर एमबीई उपकरण अत्यंत उच्च नियंत्रण के साथ सब्सट्रेट पर सामग्री की बहुत पतली परतें जमा कर सकता है। एचएल क्रायोजेनिक इक्विपमेंट (एचएल क्रायो) का वैक्यूम उपकरण रिबर एसए द्वारा सुसज्जित है। सबसे बड़ा उपकरण रिबर 6000 है और सबसे छोटा कॉम्पैक्ट 21 है। यह अच्छी स्थिति में है और ग्राहकों द्वारा इसकी सराहना की गई है।

DCA विश्व की अग्रणी ऑक्साइड MBE कंपनी है। 1993 से, ऑक्सीकरण तकनीकों, एंटीऑक्सीडेंट सब्सट्रेट हीटिंग और एंटीऑक्सीडेंट स्रोतों का व्यवस्थित विकास किया जा रहा है। इसी कारण कई प्रमुख प्रयोगशालाओं ने DCA ऑक्साइड तकनीक को चुना है। कंपोजिट सेमीकंडक्टर MBE सिस्टम का उपयोग विश्व भर में किया जाता है। HL क्रायोजेनिक इक्विपमेंट (HL CRYO) की VJ लिक्विड नाइट्रोजन सर्कुलेटिंग सिस्टम और DCA के कई मॉडलों के MBE उपकरण, जैसे कि P600, R450, SGC800 आदि, कई परियोजनाओं में एक साथ उपयोग किए जा चुके हैं।

टीसीएम (2)

प्रदर्शन तालिका

शंघाई इंस्टीट्यूट ऑफ टेक्निकल फिजिक्स, चीनी विज्ञान अकादमी
चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी निगम का 11वां संस्थान
चीनी विज्ञान अकादमी का अर्धचालक संस्थान
हुआवेई
अलीबाबा डामो अकादमी
पॉवरटेक टेक्नोलॉजी इंक.
डेल्टा इलेक्ट्रॉनिक्स इंक.
सूज़ौ एवरब्राइट फोटोनिक्स

पोस्ट करने का समय: 26 मई 2021