तकनीकी
आणविक बीम एपिटैक्सी, या एमबीई, क्रिस्टल सब्सट्रेट्स पर क्रिस्टल की उच्च गुणवत्ता वाली पतली फिल्मों को विकसित करने की एक नई तकनीक है। अल्ट्रा-हाई वैक्यूम स्थितियों में, हीटिंग स्टोव सभी प्रकार के आवश्यक घटकों से सुसज्जित होता है और भाप उत्पन्न करता है, बीम परमाणु या आणविक बीम को समेटने के बाद बने छेद के माध्यम से, एकल क्रिस्टल सब्सट्रेट के उचित तापमान पर सीधे इंजेक्शन, आणविक बीम को नियंत्रित करता है एक ही समय में सब्सट्रेट स्कैनिंग, यह सब्सट्रेट "विकास" पर एक पतली फिल्म बनाने के लिए क्रिस्टल संरेखण परतों में अणुओं या परमाणुओं को बना सकता है।
एमबीई उपकरण के सामान्य संचालन के लिए, उच्च शुद्धता, कम दबाव और अल्ट्रा-क्लीन तरल नाइट्रोजन को उपकरण के शीतलन कक्ष में लगातार और स्थिर रूप से ले जाने की आवश्यकता होती है। सामान्य तौर पर, एक टैंक जो तरल नाइट्रोजन प्रदान करता है उसका आउटपुट दबाव 0.3MPa और 0.8MPa के बीच होता है। पाइपलाइन परिवहन के दौरान -196℃ पर तरल नाइट्रोजन आसानी से नाइट्रोजन में वाष्पीकृत हो जाता है। एक बार जब लगभग 1:700 के गैस-तरल अनुपात के साथ तरल नाइट्रोजन को पाइपलाइन में गैसीकृत किया जाता है, तो यह बड़ी मात्रा में तरल नाइट्रोजन प्रवाह स्थान पर कब्जा कर लेगा और तरल नाइट्रोजन पाइपलाइन के अंत में सामान्य प्रवाह को कम कर देगा। इसके अलावा, तरल नाइट्रोजन भंडारण टैंक में मलबा होने की संभावना है जिसे साफ नहीं किया गया है। तरल नाइट्रोजन पाइपलाइन में, गीली हवा के अस्तित्व से बर्फ के स्लैग का उत्पादन भी होगा। यदि इन अशुद्धियों को उपकरण में छोड़ दिया जाता है, तो इससे उपकरण को अप्रत्याशित क्षति होगी।
इसलिए, बाहरी भंडारण टैंक में तरल नाइट्रोजन को उच्च दक्षता, स्थिरता और साफ, और कम दबाव, कोई नाइट्रोजन नहीं, कोई अशुद्धियाँ नहीं, 24 घंटे निर्बाध रूप से धूल रहित कार्यशाला में एमबीई उपकरण तक पहुंचाया जाता है, ऐसी परिवहन नियंत्रण प्रणाली है एक योग्य उत्पाद.
मिलान एमबीई उपकरण
2005 से, HL क्रायोजेनिक उपकरण (HL CRYO) इस प्रणाली का अनुकूलन और सुधार कर रहा है और अंतर्राष्ट्रीय MBE उपकरण निर्माताओं के साथ सहयोग कर रहा है। DCA, REBER सहित MBE उपकरण निर्माताओं का हमारी कंपनी के साथ सहयोगात्मक संबंध है। DCA और REBER सहित MBE उपकरण निर्माताओं ने बड़ी संख्या में परियोजनाओं में सहयोग किया है।
रिबर एसए यौगिक अर्धचालक अनुसंधान और औद्योगिक अनुप्रयोगों के लिए आणविक बीम एपिटैक्सी (एमबीई) उत्पादों और संबंधित सेवाओं का एक अग्रणी वैश्विक प्रदाता है। रिबर एमबीई डिवाइस बहुत उच्च नियंत्रण के साथ, सब्सट्रेट पर सामग्री की बहुत पतली परतें जमा कर सकता है। एचएल क्रायोजेनिक उपकरण (एचएल क्रायो) का वैक्यूम उपकरण रिबर एसए से सुसज्जित है। सबसे बड़ा उपकरण रिबर 6000 है और सबसे छोटा कॉम्पैक्ट 21 है। यह अच्छी स्थिति में है और ग्राहकों द्वारा इसे मान्यता दी गई है।
डीसीए दुनिया का अग्रणी ऑक्साइड एमबीई है। 1993 से, ऑक्सीकरण तकनीकों, एंटीऑक्सीडेंट सब्सट्रेट हीटिंग और एंटीऑक्सीडेंट स्रोतों का व्यवस्थित विकास किया गया है। इस कारण से, कई प्रमुख प्रयोगशालाओं ने डीसीए ऑक्साइड तकनीक को चुना है। कम्पोजिट सेमीकंडक्टर एमबीई सिस्टम का उपयोग दुनिया भर में किया जाता है। एचएल क्रायोजेनिक उपकरण (एचएल सीआरवाईओ) की वीजे तरल नाइट्रोजन परिसंचारी प्रणाली और डीसीए के कई मॉडलों के एमबीई उपकरण के पास कई परियोजनाओं, जैसे मॉडल पी 600, आर 450, एसजीसी 800 आदि में मिलान अनुभव है।
प्रदर्शन तालिका
शंघाई तकनीकी भौतिकी संस्थान, चीनी विज्ञान अकादमी |
चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी निगम का 11वां संस्थान |
सेमीकंडक्टर्स संस्थान, चीनी विज्ञान अकादमी |
हुआवेई |
अलीबाबा DAMO अकादमी |
पॉवरटेक टेक्नोलॉजी इंक. |
डेल्टा इलेक्ट्रॉनिक्स इंक. |
सूज़ौ एवरब्राइट फोटोनिक्स |
पोस्ट समय: मई-26-2021