तकनीकी
आणविक बीम एपिटेक्सी, या एमबीई, क्रिस्टल सब्सट्रेट पर क्रिस्टल की उच्च गुणवत्ता वाली पतली फिल्मों को विकसित करने की एक नई तकनीक है। अल्ट्रा-हाई वैक्यूम स्थितियों में, हीटिंग स्टोव सभी प्रकार के आवश्यक घटकों से सुसज्जित है और भाप उत्पन्न करता है, बीम परमाणु या आणविक बीम को समतल करने के बाद बने छिद्रों के माध्यम से, एकल क्रिस्टल सब्सट्रेट के उचित तापमान पर सीधे इंजेक्शन, आणविक बीम को सब्सट्रेट स्कैनिंग पर नियंत्रित करता है, यह क्रिस्टल संरेखण परतों में अणुओं या परमाणुओं को एक सब्सट्रेट पर एक पतली फिल्म बनाने के लिए "विकास" कर सकता है।
एमबीई उपकरणों के सामान्य संचालन के लिए, उच्च शुद्धता, कम दबाव और अल्ट्रा-क्लीन लिक्विड नाइट्रोजन को लगातार और स्थिर रूप से उपकरण के कूलिंग चैंबर में ले जाने की आवश्यकता होती है। आम तौर पर, लिक्विड नाइट्रोजन प्रदान करने वाले टैंक में 0.3MPa और 0.8MPa के बीच आउटपुट प्रेशर होता है। -196 डिग्री सेल्सियस पर लिक्विड नाइट्रोजन पाइपलाइन परिवहन के दौरान आसानी से नाइट्रोजन में वाष्पीकृत हो जाता है। एक बार जब लगभग 1:700 के गैस-लिक्विड अनुपात वाला लिक्विड नाइट्रोजन पाइपलाइन में गैसीकृत हो जाता है, तो यह लिक्विड नाइट्रोजन प्रवाह स्थान की एक बड़ी मात्रा पर कब्जा कर लेगा और लिक्विड नाइट्रोजन पाइपलाइन के अंत में सामान्य प्रवाह को कम कर देगा। इसके अलावा, लिक्विड नाइट्रोजन भंडारण टैंक में, मलबा होने की संभावना है जिसे साफ नहीं किया गया है। लिक्विड नाइट्रोजन पाइपलाइन में, गीली हवा के अस्तित्व से बर्फ के स्लैग की उत्पत्ति भी होगी। यदि इन अशुद्धियों को उपकरण में छुट्टी दे दी जाती है, तो यह उपकरण को अप्रत्याशित नुकसान पहुंचाएगा।
इसलिए, बाहरी भंडारण टैंक में तरल नाइट्रोजन को उच्च दक्षता, स्थिरता और साफ, और कम दबाव, कोई नाइट्रोजन, कोई अशुद्धता, 24 घंटे निर्बाध के साथ धूल मुक्त कार्यशाला में एमबीई उपकरण में ले जाया जाता है, ऐसे परिवहन नियंत्रण प्रणाली एक योग्य उत्पाद है।



एमबीई उपकरण का मिलान
वर्ष 2005 से, HL क्रायोजेनिक उपकरण (HL CRYO) इस प्रणाली को अनुकूलित और बेहतर बना रहा है तथा अंतर्राष्ट्रीय MBE उपकरण निर्माताओं के साथ सहयोग कर रहा है। DCA, REBER सहित MBE उपकरण निर्माताओं के हमारे कंपनी के साथ सहकारी संबंध हैं। DCA और REBER सहित MBE उपकरण निर्माताओं ने बड़ी संख्या में परियोजनाओं में सहयोग किया है।
रिबर एसए यौगिक अर्धचालक अनुसंधान और औद्योगिक अनुप्रयोगों के लिए आणविक बीम एपिटेक्सी (एमबीई) उत्पादों और संबंधित सेवाओं का एक अग्रणी वैश्विक प्रदाता है। रिबर एमबीई डिवाइस बहुत उच्च नियंत्रण के साथ सब्सट्रेट पर सामग्री की बहुत पतली परतों को जमा कर सकता है। एचएल क्रायोजेनिक उपकरण (एचएल क्रायो) का वैक्यूम उपकरण रिबर एसए से सुसज्जित है। सबसे बड़ा उपकरण रिबर 6000 है और सबसे छोटा कॉम्पैक्ट 21 है। यह अच्छी स्थिति में है और ग्राहकों द्वारा मान्यता प्राप्त है।
DCA दुनिया का अग्रणी ऑक्साइड MBE है। 1993 से, ऑक्सीकरण तकनीकों, एंटीऑक्सीडेंट सब्सट्रेट हीटिंग और एंटीऑक्सीडेंट स्रोतों का व्यवस्थित विकास किया गया है। इस कारण से, कई प्रमुख प्रयोगशालाओं ने DCA ऑक्साइड तकनीक को चुना है। दुनिया भर में कम्पोजिट सेमीकंडक्टर MBE सिस्टम का उपयोग किया जाता है। HL क्रायोजेनिक उपकरण (HL CRYO) की VJ लिक्विड नाइट्रोजन सर्कुलेटिंग प्रणाली और DCA के कई मॉडलों के MBE उपकरणों में कई परियोजनाओं में मेल खाने का अनुभव है, जैसे मॉडल P600, R450, SGC800 आदि।

प्रदर्शन तालिका
शंघाई इंस्टीट्यूट ऑफ टेक्निकल फिजिक्स, चीनी विज्ञान अकादमी |
चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी निगम का 11वां संस्थान |
सेमीकंडक्टर संस्थान, चीनी विज्ञान अकादमी |
हुआवेई |
अलीबाबा DAMO अकादमी |
पॉवरटेक टेक्नोलॉजी इंक. |
डेल्टा इलेक्ट्रॉनिक्स इंक. |
सूज़ौ एवरब्राइट फोटोनिक्स |
पोस्ट करने का समय: मई-26-2021