पिछले वर्षों में पूरी हुई चिप एमबीई परियोजना

तकनीकी

आणविक किरण एपीटेक्सी, या एमबीई, क्रिस्टल सब्सट्रेट पर क्रिस्टल की उच्च-गुणवत्ता वाली पतली फिल्म बनाने की एक नई तकनीक है। अति-उच्च निर्वात स्थितियों में, हीटिंग स्टोव सभी प्रकार के आवश्यक घटकों से सुसज्जित होता है और भाप उत्पन्न करता है। कोलिमेटिंग बीम परमाणु या आणविक बीम के बाद बने छिद्रों के माध्यम से, एकल क्रिस्टल सब्सट्रेट के उपयुक्त तापमान पर सीधे इंजेक्शन लगाया जाता है, और आणविक बीम को सब्सट्रेट स्कैनिंग के लिए नियंत्रित किया जाता है। साथ ही, यह क्रिस्टल संरेखण परतों में अणुओं या परमाणुओं को सब्सट्रेट पर एक पतली फिल्म बनाने के लिए "विकास" करने में सक्षम बनाता है।

एमबीई उपकरणों के सामान्य संचालन के लिए, उच्च शुद्धता, कम दबाव और अल्ट्रा-क्लीन लिक्विड नाइट्रोजन को लगातार और स्थिर रूप से उपकरण के कूलिंग चैंबर में ले जाने की आवश्यकता होती है। सामान्य तौर पर, लिक्विड नाइट्रोजन प्रदान करने वाले एक टैंक में 0.3MPa और 0.8MPa के बीच एक आउटपुट दबाव होता है। -196 ℃ पर लिक्विड नाइट्रोजन पाइपलाइन परिवहन के दौरान आसानी से नाइट्रोजन में वाष्पीकृत हो जाता है। एक बार जब लगभग 1: 700 के गैस-तरल अनुपात वाला लिक्विड नाइट्रोजन पाइपलाइन में गैसीकृत हो जाता है, तो यह लिक्विड नाइट्रोजन प्रवाह स्थान की एक बड़ी मात्रा पर कब्जा कर लेगा और लिक्विड नाइट्रोजन पाइपलाइन के अंत में सामान्य प्रवाह को कम कर देगा। इसके अलावा, लिक्विड नाइट्रोजन भंडारण टैंक में, मलबा होने की संभावना है जिसे साफ नहीं किया गया है। लिक्विड नाइट्रोजन पाइपलाइन में, नम हवा के अस्तित्व से बर्फ के स्लैग का उत्पादन भी होगा

इसलिए, आउटडोर भंडारण टैंक में तरल नाइट्रोजन उच्च दक्षता, स्थिरता और साफ के साथ धूल मुक्त कार्यशाला में एमबीई उपकरण में ले जाया जाता है, और कम दबाव, कोई नाइट्रोजन नहीं, कोई अशुद्धता नहीं, 24 घंटे निर्बाध, इस तरह के परिवहन नियंत्रण प्रणाली एक योग्य उत्पाद है।

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एमबीई उपकरण का मिलान

2005 से, एचएल क्रायोजेनिक इक्विपमेंट (एचएल क्रायो) इस प्रणाली का अनुकूलन और सुधार कर रहा है और अंतर्राष्ट्रीय एमबीई उपकरण निर्माताओं के साथ सहयोग कर रहा है। डीसीए और रेबर सहित एमबीई उपकरण निर्माताओं के हमारी कंपनी के साथ सहयोगात्मक संबंध हैं। डीसीए और रेबर सहित एमबीई उपकरण निर्माताओं ने कई परियोजनाओं में सहयोग किया है।

रिबर एसए, यौगिक अर्धचालक अनुसंधान और औद्योगिक अनुप्रयोगों के लिए आणविक किरण एपीटेक्सी (एमबीई) उत्पादों और संबंधित सेवाओं का एक अग्रणी वैश्विक प्रदाता है। रिबर एमबीई उपकरण, अत्यंत उच्च नियंत्रणों के साथ, सब्सट्रेट पर पदार्थ की अत्यंत पतली परतें जमा कर सकता है। एचएल क्रायोजेनिक उपकरण (एचएल क्रायो) का निर्वात उपकरण रिबर एसए से सुसज्जित है। सबसे बड़ा उपकरण रिबर 6000 और सबसे छोटा कॉम्पैक्ट 21 है। यह अच्छी स्थिति में है और ग्राहकों द्वारा इसकी सराहना की गई है।

डीसीए दुनिया का अग्रणी ऑक्साइड एमबीई है। 1993 से, ऑक्सीकरण तकनीकों, एंटीऑक्सीडेंट सब्सट्रेट हीटिंग और एंटीऑक्सीडेंट स्रोतों का व्यवस्थित विकास किया जा रहा है। इसी कारण से, कई अग्रणी प्रयोगशालाओं ने डीसीए ऑक्साइड तकनीक को चुना है। कम्पोजिट सेमीकंडक्टर एमबीई सिस्टम दुनिया भर में उपयोग किए जाते हैं। एचएल क्रायोजेनिक उपकरण (एचएल क्रायो) का वीजे लिक्विड नाइट्रोजन सर्कुलेटिंग सिस्टम और डीसीए के कई मॉडलों के एमबीई उपकरण, कई परियोजनाओं, जैसे मॉडल पी600, आर450, एसजीसी800 आदि, में समान अनुभव रखते हैं।

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प्रदर्शन तालिका

शंघाई इंस्टीट्यूट ऑफ टेक्निकल फिजिक्स, चीनी विज्ञान अकादमी
चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी निगम का 11वां संस्थान
अर्धचालक संस्थान, चीनी विज्ञान अकादमी
हुआवेई
अलीबाबा DAMO अकादमी
पॉवरटेक टेक्नोलॉजी इंक.
डेल्टा इलेक्ट्रॉनिक्स इंक.
सूज़ौ एवरब्राइट फोटोनिक्स

पोस्ट करने का समय: 26 मई 2021

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