सेमीकंडक्टर और चिप केस और समाधान

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सेमीकंडक्टर और चिप उद्योग में तरल नाइट्रोजन शीतलन प्रणालियों का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, जिसमें निम्नलिखित प्रक्रियाएं शामिल हैं:

  • मॉलिक्यूलर बीम एपिटैक्सी (एमबीई) की तकनीक
  • सीओबी पैकेजिंग के बाद चिप का परीक्षण

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आणविक बीम एपिटैक्सी

आणविक बीम एपिटैक्सी (एमबीई) तकनीक का विकास 1950 के दशक में वैक्यूम वाष्पीकरण तकनीक का उपयोग करके अर्धचालक पतली फिल्म सामग्री तैयार करने के लिए किया गया था। अति-उच्च वैक्यूम तकनीक के विकास के साथ, इस तकनीक का अनुप्रयोग अर्धचालक विज्ञान के क्षेत्र तक विस्तारित हो गया है।

एचएल ने एमबीई तरल नाइट्रोजन शीतलन प्रणाली की मांग को भांपते हुए, एमबीई प्रौद्योगिकी के लिए एक विशेष एमबीई तरल नाइट्रोजन शीतलन प्रणाली और वैक्यूम इन्सुलेटेड पाइपिंग प्रणाली का एक पूरा सेट सफलतापूर्वक विकसित करने के लिए तकनीकी आधार तैयार किया है, जिसका उपयोग कई उद्यमों, विश्वविद्यालयों और अनुसंधान संस्थानों में किया जा रहा है।

सेमीकंडक्टर और चिप उद्योग की सामान्य समस्याओं में निम्नलिखित शामिल हैं:

  • टर्मिनल (एमबीई) उपकरण में तरल नाइट्रोजन का दबाव। दबाव के अत्यधिक भार से टर्मिनल (एमबीई) उपकरण को होने वाली क्षति को रोकें।
  • एकाधिक क्रायोजेनिक तरल प्रवेश और निकास नियंत्रण
  • टर्मिनल उपकरण में तरल नाइट्रोजन का तापमान
  • क्रायोजेनिक गैस उत्सर्जन की एक उचित मात्रा
  • मुख्य और शाखा लाइनों का (स्वचालित) स्विचिंग
  • वीआईपी का दबाव समायोजन (कमी) और स्थिरता
  • टैंक से संभावित अशुद्धियों और बर्फ के अवशेषों को साफ करना
  • टर्मिनल तरल उपकरण का भरने का समय
  • पाइपलाइन प्रीकूलिंग
  • वीआईपी सिस्टम में तरल प्रतिरोध
  • सिस्टम की असंतुलित सेवा के दौरान तरल नाइट्रोजन के नुकसान को नियंत्रित करें

एचएल का वैक्यूम इंसुलेटेड पाइप (वीआईपी) मानक के रूप में एएसएमई बी31.3 प्रेशर पाइपिंग कोड के अनुसार निर्मित है। इंजीनियरिंग अनुभव और गुणवत्ता नियंत्रण क्षमता ग्राहक के संयंत्र की दक्षता और लागत-प्रभावशीलता सुनिश्चित करती है।

समाधान

एचएल क्रायोजेनिक इक्विपमेंट सेमीकंडक्टर और चिप उद्योग की आवश्यकताओं और स्थितियों को पूरा करने के लिए ग्राहकों को वैक्यूम इंसुलेटेड पाइपिंग सिस्टम प्रदान करता है:

1. गुणवत्ता प्रबंधन प्रणाली: एएसएमई बी31.3 प्रेशर पाइपिंग कोड।

2. स्वचालित नियंत्रण फ़ंक्शन के साथ एकाधिक क्रायोजेनिक तरल इनलेट और आउटलेट वाला एक विशेष चरण विभाजक गैस उत्सर्जन, पुनर्चक्रित तरल नाइट्रोजन और तरल नाइट्रोजन के तापमान की आवश्यकता को पूरा करता है।

3. पर्याप्त और समय पर निकास डिजाइन यह सुनिश्चित करता है कि टर्मिनल उपकरण हमेशा डिजाइन किए गए दबाव मान के भीतर काम करे।

4. गैस-तरल अवरोधक को VI पाइपलाइन के अंत में ऊर्ध्वाधर VI पाइप में लगाया जाता है। गैस-तरल अवरोधक गैस सील सिद्धांत का उपयोग करके VI पाइपलाइन के अंत से VI पाइपिंग में ऊष्मा के प्रवेश को रोकता है, और सिस्टम की असंतुलित और रुक-रुक कर चलने वाली सेवा के दौरान तरल नाइट्रोजन के नुकसान को प्रभावी ढंग से कम करता है।

5. VI पाइपिंग को वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व (VIV) श्रृंखला द्वारा नियंत्रित किया जाता है: इसमें वैक्यूम इंसुलेटेड (न्यूमेटिक) शट-ऑफ वाल्व, वैक्यूम इंसुलेटेड चेक वाल्व, वैक्यूम इंसुलेटेड रेगुलेटिंग वाल्व आदि शामिल हैं। आवश्यकतानुसार VIP को नियंत्रित करने के लिए विभिन्न प्रकार के VIV को मॉड्यूलर रूप से संयोजित किया जा सकता है। VIV को VIP के साथ निर्माता द्वारा पूर्वनिर्मित रूप से एकीकृत किया जाता है, साइट पर इन्सुलेशन उपचार की आवश्यकता नहीं होती है। VIV की सील इकाई को आसानी से बदला जा सकता है। (HL ग्राहकों द्वारा निर्दिष्ट क्रायोजेनिक वाल्व ब्रांड को स्वीकार करता है और फिर HL द्वारा वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व बनाता है। कुछ ब्रांड और मॉडल के वाल्व वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व में परिवर्तित नहीं किए जा सकते हैं।)

6. स्वच्छता: यदि आंतरिक ट्यूब की सतह की स्वच्छता के लिए अतिरिक्त आवश्यकताएं हों, तो ग्राहकों को बीए या ईपी स्टेनलेस स्टील पाइप को वीआईपी आंतरिक पाइप के रूप में चुनने का सुझाव दिया जाता है ताकि स्टेनलेस स्टील के रिसाव को और कम किया जा सके।

7. वैक्यूम इंसुलेटेड फिल्टर: टैंक से संभावित अशुद्धियों और बर्फ के अवशेषों को साफ करता है।

8. कुछ दिनों या उससे अधिक समय तक बंद रहने या रखरखाव के बाद, क्रायोजेनिक तरल डालने से पहले वीआई पाइपिंग और टर्मिनल उपकरणों को पहले से ठंडा करना अत्यंत आवश्यक है, ताकि क्रायोजेनिक तरल के सीधे वीआई पाइपिंग और टर्मिनल उपकरणों में प्रवेश करने के बाद बर्फ जमने से बचा जा सके। डिज़ाइन में प्रीकूलिंग फ़ंक्शन को ध्यान में रखा जाना चाहिए। यह टर्मिनल उपकरणों और वीआई पाइपिंग के सहायक उपकरणों जैसे वाल्वों को बेहतर सुरक्षा प्रदान करता है।

9. यह गतिशील और स्थिर दोनों प्रकार की वैक्यूम इंसुलेटेड (लचीली) पाइपिंग प्रणाली के लिए उपयुक्त है।

10. डायनामिक वैक्यूम इंसुलेटेड (फ्लेक्सिबल) पाइपिंग सिस्टम: इसमें VI फ्लेक्सिबल होसेस और/या VI पाइप, जम्पर होसेस, वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व सिस्टम, फेज सेपरेटर और डायनामिक वैक्यूम पंप सिस्टम (वैक्यूम पंप, सोलेनोइड वाल्व और वैक्यूम गेज आदि सहित) शामिल हैं। एक VI फ्लेक्सिबल होज़ की लंबाई उपयोगकर्ता की आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित की जा सकती है।

11. विभिन्न प्रकार के कनेक्शन: वैक्यूम बेयोनेट कनेक्शन (वीबीसी) और वेल्डेड कनेक्शन का चयन किया जा सकता है। वीबीसी प्रकार के कनेक्शन के लिए साइट पर इन्सुलेशन उपचार की आवश्यकता नहीं होती है।