



तरल नाइट्रोजन शीतलन प्रणाली का व्यापक रूप से अर्धचालक और चिप उद्योग में उपयोग किया जाता है, जिसमें निम्नलिखित प्रक्रिया शामिल है,
- आणविक बीम एपिटैक्सी (एमबीई) की तकनीक
- COB पैकेज के बाद चिप का परीक्षण
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आणविक किरण एपिटेक्सी
आणविक बीम एपिटैक्सी (एमबीई) की तकनीक 1950 के दशक में वैक्यूम वाष्पीकरण तकनीक का उपयोग करके अर्धचालक पतली फिल्म सामग्री तैयार करने के लिए विकसित की गई थी। अल्ट्रा-हाई वैक्यूम तकनीक के विकास के साथ, प्रौद्योगिकी का अनुप्रयोग अर्धचालक विज्ञान के क्षेत्र में विस्तारित हो गया है।
एचएल ने एमबीई तरल नाइट्रोजन शीतलन प्रणाली की मांग को देखा है, एमबीई प्रौद्योगिकी के लिए एक विशेष एमबीई तरल नाइट्रोजन शीतलन प्रणाली और वैक्यूम इन्सुलेटेड पाइपिंग सिस्टम का एक पूरा सेट सफलतापूर्वक विकसित करने के लिए तकनीकी रीढ़ का आयोजन किया है, जिसका उपयोग कई उद्यमों, विश्वविद्यालयों और अनुसंधान संस्थानों में किया गया है।
सेमीकंडक्टर और चिप उद्योग की आम समस्याओं में शामिल हैं,
- टर्मिनल (MBE) उपकरण में तरल नाइट्रोजन का दबाव। टर्मिनल (MBE) उपकरण को नुकसान पहुँचाने वाले दबाव अधिभार को रोकें।
- एकाधिक क्रायोजेनिक तरल इनलेट और आउटलेट नियंत्रण
- टर्मिनल उपकरण में तरल नाइट्रोजन का तापमान
- क्रायोजेनिक गैस उत्सर्जन की उचित मात्रा
- मुख्य और शाखा लाइनों की (स्वचालित) स्विचिंग
- दबाव समायोजन (कम करना) और वीआईपी की स्थिरता
- टैंक से संभावित अशुद्धियों और बर्फ के अवशेषों को साफ करना
- टर्मिनल लिक्विड उपकरण का भरने का समय
- पाइपलाइन प्रीकूलिंग
- वीआईपी सिस्टम में द्रव प्रतिरोध
- सिस्टम की असंतत सेवा के दौरान तरल नाइट्रोजन की हानि को नियंत्रित करें
एचएल की वैक्यूम इंसुलेटेड पाइप (वीआईपी) को एएसएमई बी31.3 प्रेशर पाइपिंग कोड के मानक के अनुसार बनाया गया है। ग्राहक के संयंत्र की दक्षता और लागत प्रभावशीलता सुनिश्चित करने के लिए इंजीनियरिंग अनुभव और गुणवत्ता नियंत्रण क्षमता।
समाधान
एचएल क्रायोजेनिक उपकरण ग्राहकों को सेमीकंडक्टर और चिप उद्योग की आवश्यकताओं और शर्तों को पूरा करने के लिए वैक्यूम इंसुलेटेड पाइपिंग सिस्टम प्रदान करता है:
1.गुणवत्ता प्रबंधन प्रणाली: ASME B31.3 प्रेशर पाइपिंग कोड।
2. स्वचालित नियंत्रण फ़ंक्शन के साथ एकाधिक क्रायोजेनिक तरल इनलेट और आउटलेट के साथ एक विशेष चरण विभाजक गैस उत्सर्जन, पुनर्नवीनीकरण तरल नाइट्रोजन और तरल नाइट्रोजन के तापमान की आवश्यकता को पूरा करता है।
3. पर्याप्त और समय पर निकास डिजाइन यह सुनिश्चित करता है कि टर्मिनल उपकरण हमेशा डिज़ाइन किए गए दबाव मूल्य के भीतर काम करता है।
4. गैस-तरल अवरोध को VI पाइपलाइन के अंत में ऊर्ध्वाधर VI पाइप में रखा जाता है। गैस-तरल अवरोध VI पाइपलाइन के अंत से VI पाइपिंग में गर्मी को रोकने के लिए गैस सील सिद्धांत का उपयोग करता है, और सिस्टम की असंतत और आंतरायिक सेवा के दौरान तरल नाइट्रोजन के नुकसान को प्रभावी ढंग से कम करता है।
5.VI पाइपिंग को वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व (VIV) सीरीज द्वारा नियंत्रित किया जाता है: जिसमें वैक्यूम इंसुलेटेड (न्यूमेटिक) शट-ऑफ वाल्व, वैक्यूम इंसुलेटेड चेक वाल्व, वैक्यूम इंसुलेटेड रेगुलेटिंग वाल्व आदि शामिल हैं। VIP को आवश्यकतानुसार नियंत्रित करने के लिए विभिन्न प्रकार के VIV को मॉड्यूलर रूप से संयोजित किया जा सकता है। VIV को निर्माता में VIP प्रीफैब्रिकेशन के साथ एकीकृत किया जाता है, बिना ऑन-साइट इंसुलेटेड उपचार के। VIV की सील यूनिट को आसानी से बदला जा सकता है। (HL ग्राहकों द्वारा निर्दिष्ट क्रायोजेनिक वाल्व ब्रांड को स्वीकार करता है, और फिर HL द्वारा वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व बनाता है। वाल्व के कुछ ब्रांड और मॉडल वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व में नहीं बनाए जा सकते हैं।)
6.सफाई, अगर आंतरिक ट्यूब सतह की सफाई के लिए अतिरिक्त आवश्यकताएं हैं। यह सुझाव दिया जाता है कि ग्राहक स्टेनलेस स्टील के रिसाव को कम करने के लिए वीआईपी आंतरिक पाइप के रूप में बीए या ईपी स्टेनलेस स्टील पाइप का चयन करें।
7.वैक्यूम इंसुलेटेड फिल्टर: टैंक से संभावित अशुद्धियों और बर्फ के अवशेषों को साफ करें।
8. कुछ दिनों या उससे अधिक समय तक शटडाउन या रखरखाव के बाद, क्रायोजेनिक तरल के प्रवेश से पहले VI पाइपिंग और टर्मिनल उपकरण को प्रीकूल करना बहुत आवश्यक है, ताकि क्रायोजेनिक तरल के सीधे VI पाइपिंग और टर्मिनल उपकरण में प्रवेश करने के बाद बर्फ के स्लैग से बचा जा सके। प्रीकूलिंग फ़ंक्शन को डिज़ाइन में ध्यान में रखा जाना चाहिए। यह टर्मिनल उपकरण और VI पाइपिंग सहायक उपकरण जैसे वाल्व के लिए बेहतर सुरक्षा प्रदान करता है।
9.डायनेमिक और स्टेटिक वैक्यूम इंसुलेटेड (लचीली) पाइपिंग सिस्टम दोनों के लिए उपयुक्त।
10.डायनेमिक वैक्यूम इंसुलेटेड (फ्लेक्सिबल) पाइपिंग सिस्टम: इसमें VI फ्लेक्सिबल होज़ और/या VI पाइप, जम्पर होज़, वैक्यूम इंसुलेटेड वाल्व सिस्टम, फेज़ सेपरेटर और डायनेमिक वैक्यूम पंप सिस्टम (वैक्यूम पंप, सोलनॉइड वाल्व और वैक्यूम गेज आदि सहित) शामिल हैं। सिंगल VI फ्लेक्सिबल होज़ की लंबाई को उपयोगकर्ता की ज़रूरतों के हिसाब से कस्टमाइज़ किया जा सकता है।
11.विभिन्न कनेक्शन प्रकार: वैक्यूम बैयोनेट कनेक्शन (VBC) प्रकार और वेल्डेड कनेक्शन का चयन किया जा सकता है। VBC प्रकार को ऑन-साइट इंसुलेटेड उपचार की आवश्यकता नहीं होती है।